柔性超薄金剛石晶圓產業化

獎項:
2026「創客中國」香港分站賽 – 十強決賽項目
參賽項目名稱:
柔性超薄金剛石晶圓產業化
公司名稱:
鑽耐科思有限公司
所屬科技領域:
新材料
演說代表:
燕增宇 (高級研發工程師)

柔性超薄金剛石晶圓產業化
金剛石是第四代半導體核心戰略材料,熱學、電學性能優於矽、碳化矽等材料,是高端晶片關鍵基底,已納入多國出口管制及我國“十五五”重點發展規劃。我國人造金剛石產能全球領先,但多應用於工具、珠寶領域,半導體級材料存在技術差距。隨著AI、高性能計算及先進封裝產業發展,高端晶片散熱瓶頸凸顯,傳統金剛石塊材加工難、成本高,難以適配現有產線,產業化受阻。
本項目依託香港大學前沿科研力量,構建港深聯動產學研體系,自主研發邊緣暴露剝離技術,在深圳前海佈局小試產線與協同創新中心,通過化學氣相沉積與純物理剝離工藝,批量製備超薄、超平整柔性金剛石晶圓。產品表面粗糙度低於1nm,可直接適配現有半導體產線;薄膜最小厚度400nm,熱導率達1300W/m·K,製備成本較傳統降低約99%,兼具柔性可彎曲特性。